2015/03 2016/03 2017/03 2018/03 2019/03
半導体製造装置 40,179 41,773 50,291 59,523 69,117
計測機器 26,266 28,500 27,501 28,671 32,403
合計 66,445 70,274 77,792 88,194 101,520

2015/03 2016/03 2017/03 2018/03 2019/3
半導体製造装置 6,963 7,339 8,820 11,292 13,195
計測機器 5,160 5,883 4,839 5,990 7,025
合計 12,124 13,222 13,659 17,283 20,221