2014/03 2015/03 2016/03 2017/03 2018/03
半導体製造装置 31,360 40,179 41,773 50,291 59,523
計測機器 23,908 26,266 28,500 27,501 28,671
合計 55,268 66,445 70,274 77,792 88,194

2014/03 2015/03 2016/03 2017/03 2018/03
半導体製造装置 3,720 6,963 7,339 8,820 11,292
計測機器 4,745 5,160 5,883 4,839 5,990
合計 8,466 12,124 13,222 13,659 17,283