精密測定機器

当社は「測れないものはつくれない」という考えを持っています。これは、世の中にある全てのものは、 「計測」されることで、初めて設計通りにつくられていることが確認され、その信頼性や安全性が保障できること、すなわち、全てのものは「計測」のプロセスなくして製品にすることはできない、という考えです。

 

事実、工業製品は、様々な工程で検査されておりますが、この検査工程で、当社の精密測定機器が活用されています。特に日本の主力産業である自動車業界では、当社機器が多く採用され、その安全性の拡大に貢献しています。

①真円度・円筒形状測定機

 

【なにを測るの?】
燃料噴射装置の噴射ノズルやエンジンのピストンなど

 

【どうして?】
燃費の向上やエンジンの出力アップを実現するためには、
噴射ノズルの円形が高精度であることが要求されるため、
その精度を測定します。

②表面粗さ・輪郭形状測定機

 

【なにを測るの?】

クランクシャフトやカムシャフトストンなどのエンジン内部の部品

 

【どうして?】

自動車からの二酸化炭素排出量や有害排出ガスの発生を

抑えるために、適切な凸凹を測定し回転ロスを低減します。

③三次元座標測定機

 

【なにを測るの?】
シリンダブロックやシリンダヘッドなど

 

【どうして?】
静かなエンジン音や低燃費を実現するために、今後ますます高精度が
求められるシリンダブロックなどは非常に複雑な形状をしており、
その精度の測定は三次元座標測定機が可能にします。

④マシンコントロールゲージ

 

【なにを測るの?】

エンジン、トランスミッションなどに使われる精密加工部品

 

【どうして?】

量産ライン上を流れていく部品の寸法、形状を全数測定し、常に

良品だけが生産されるように加工機をコントロールします。高効

率で安定した生産ラインの構築には不可欠な測定システムです。

当社では、精密測定機器を実際に使用してくださっているお客様の声をまとめた Expert! Tokyo Seimitsuを発行しております。併せてご覧ください。

 

半導体製造装置

一方、半導体製造装置は半導体の製造プロセスにおいて、世界中の半導体メーカーやデバイスメーカーなどに導入され、半導体の生産効率の向上に貢献しています。

 

①ウェーハプロービングマシン

 

【どんな装置なの?】
ウェーハ上に形成されたすべてのチップの電気的特性を試験し、
チップの良品・不良品を判断する装置です。
たくさんの触針を回路に触れさせ正確に計測するために、メカニクス、
エレクトロニクス、アプリケーションなど東京精密独自の最先端技術を
結集しています。

②ダイシングマシン

 

【どんな装置なの? 】

ブレードと呼ばれる刃を高速回転させて、ウェーハに形成された

集積回路などを一つひとつのチップとして切り出す装置です。

レーザーを用いて切断加工をする装置もあり、こちらは完全にドライ

プロセスのため環境に配慮した省エネルギー機です。

③ポリッシュグラインダ

 

【どんな装置なの? 】

ウェーハを薄くしつつ、ダメージを除去する装置です。

より薄い半導体チップは、ICカードやスマートフォンなどの様々な

製品の薄型化や小型化に貢献します。また剥く加工されたチップを

縦方向に積層させる三次元実装技術の実現にも一役買っています。

④エッジグラインディングマシン

 

【どんな装置なの? 】

シリコン等のウェーハの外周部を加工する装置です。

近年、ウェーハの品質向上の要求が強く、ウェーハ端面の加工状態が

重要視されています。